주사탐침현미경

20383442

주사탐침현미경,Psia,XE-100

공동실험실습관

혜성관 301호 미세구조분석실

2006-12-19

Scaning Probe Microscope

Scaning Probe Microscope, 주사탐침현미경,SPM

- 용도설명 : 미세한 시료 표면의 형상, 단차, 거칠기 등 측정 - 응용분야 : 반도체의 표면 계측, 화학 및 고분자, 재료공학, 기타 표면분석 등 - 활용예시 : 미세한 시료의 표면을 3D로 관찰하고, 높이를 측정할 수 있음

(Mechanical) - Sample size : Up to 100x100mm , 20mm thick - Sample stage traval : 25 x 25 mm (X-Y scanner) - Scan size : 50 x 50 ㎛ - Resolution : < 0.15 nm (Z-scanner) - Scan size : 12 ㎛ - Resolution : 0.05nm (Z-stage) - Traval : 30nm - Resolution : 0.08㎛

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정상

김보경

029707245